洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
无尘车间在实际生活中有哪些作用?
首先,食品卫生质量直接关系到人们的身体健身和生命安全。
影响食品卫生质量的因素有生产原料及辅料、生产工艺技术和生产环境等。食品生产环境包括可能与食品接触的设备(工器具)、人员和空气等,其安全生产控制的目的是为了防止食品在不卫生的条件下加工。食品生产用洁净间(区)的污染控制是食品生产环境控制的关键环节,其控制对象包括尘粒和微生物。
空气中的微生物无处不在,并常附着在尘埃粒子上,随着尘埃、雾滴及皮屑、毛发等传播。空气中的尘埃粒子越多,菌群附着在尘埃粒子上的机会越大,传播的机会也增加。同样,病毒也会附着在尘粒上并进行传播。因此,控制空气中尘粒的数量就可以控制附着在其上的微生物。
各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3?m。病毒是非常小的微生物,大约在0.005?m以上,其次是立克次氏体。菌群种类很多,多数在空气中以群体形式存在。常见的大小为5.5~6.5?m,大小为3.1~3.9?m,采用有效空气过滤器(0.5?m,过滤效率≥99.9%)基本上可将它们除去。